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金相显微镜

 

1. 设备全景图片

 

2.设备概况

品牌:Leica(莱卡)

型号:DM600M

用途: 1、对半导体芯片表面形貌进行观察分析,检查半导体芯片生产工艺是否存在缺陷;

2、对电子元器件结构、材料进行观察,检查各结合面是否存在缺陷;

 

3. 设备功能简述

Leica DM6000 M型号金相显微镜包括显微镜系统和计算机系统。显微镜系统有6个可更换的物镜、1个目镜以及配套的光源,并且拥有一个CCD镜头用来实现与计算机的连接,从而能够在计算机上清晰观察样品。计算机系统主要包括计算机1台以及相应的配套操作软件。

Smart Move控制台使使用者能够在远离显微镜的位置实现对显微镜的控制,方便使用者并行开展其他工作;Smart Touch触摸屏使该产品的控制不仅仅局限于传统手动方式,通过触摸屏上丰富的控制菜单即能完成对仪器的控制。

 

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设备全貌及Smart MoveSmart Touch部件

该设备提供110X目镜以及2.5X5X10X20X50X100X 6个物镜,可以最大得到1000X的放大倍数,通过C-MountCCD部件,能够在计算机软件上得到样品清晰的图像,同时能够保存、输出或者完成图像打印。配合控制软件的强大功能,还可以实现多焦点及拼图等各种功能,从而实现超大景深、超大视场。

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芯片金属化检查(左:1000X   右:大规模集成电路图像拼接)

通过光路中不同透镜的组合,该设备亦可实现暗场、偏光等各种观察模式,能够轻松观察到各种材料表面形貌,得到理想图像。

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暗场下样品检查(左:激光器透镜、右:电容“三层”)

 

4. 设备的技术特点

(1)  最新标准,简单易用

使用新一代莱卡数字显微镜技术,工作效率明显加快且操作起来得心应手。能轻松地自动化处理显微镜上复杂的分析工作流程。快速而简便的保存所有显微镜和摄像头参数,可以随时轻松的将显微镜重设为相同的图形化用户界面。

(2)  工作方式多样

新型Leica STP6000 SmartTouch 外部遥控器使操作自由度达到新的水平。显微镜的所有自动操作均可以通过外部遥控器进行设置。该遥控器具有与Leica Application Suite(LAS)软件相同的图形化用户界面。

(3)  人性化操作

莱卡数字显微镜的人性化设计可以让使用者真正体验舒适方便的显微镜系统,通过与Fraunhofer Insitute的密切合作,莱卡设计的该款显微镜不仅超越了最新的技术标准,而且还符合最高人性化设计标准。

(4)  软件与硬件的完美结合

Leica Application Suite (LAS) 软件完全整合了摄像头和显微镜的控件。LAS采用模块化设计,使用的多种模块可以随时添加,可满足研究需要。通过使用LAS,用户能够快速高效地评估数据,并且轻松对数据进行归档。

 

5. 设备的技术参数

  源:    CTR6000

显示器:    Leica SmartTouch

接口:      USB 2.0+I2C

调焦方式:  电动式→5个电子速率、等焦面、粗调/细调、2Z轴存储位置

物镜旋转座:完全编码、电动式、6×M32线程

载物台:    电动式→步进电机控制、快速/慢速模式、6个载物台存储位置

控件:      6个可编程操作按钮、SmartMove控制台、Lecia STP6000控制软件

TL轴:     12V/100W卤素灯、自动光线管理、相衬管理、CCIC BFDF

RL轴:     12V/100W卤素灯、自动光线管理、相衬管理、BFDF

聚光镜:    电动式

物镜:      2.5X5X10X20X50X100X

目镜:      10X

C-Mount     0.7X

CCD      500MP

 

6. 设备的技术优势

该设备工作方式多样,操作方便快捷,实验准备时间短,能够迅速进入试验流程。

 

7. 设备的应用行业

该设备适用领域十分广泛,常见应用于电子化工和仪器仪表行业观察不透明的物质,如金属陶瓷、集成电路、半导体芯片、印刷电路板、涂镀层以及其他非金属材料等,能够对一些表面状况进行研究分析等工作,从而得出产品的某些性能,如机械性能、生产中的缺陷等。