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飞秒脉冲激光单粒子效应测试系统

 

1.       设备全景图

2.       设备概况

 

品牌:国家空间科学中心空间环境特殊效应实验室自主研制

型号:自主研制NLSEE1

类型:单粒子效应测试系统

用途:用于定性模拟各种半导体器件,体硅器件、GaAs, SiC, SiN等多种新型材料的单粒子效应,包括单粒子翻转(SEU)效应,单粒子闩锁效应(SEL),单粒子烧毁效应(SEB),单粒子瞬态(SET)效应。

 

3.       设备功能简介

飞秒秒脉冲激光单粒子效应测试系统,国家空间科学中心空间环境特殊效应实验室自主研制。经过多年的理论和试验研究,能够定性(半定量)的摸底器件和电路系统的单粒子效应敏感度及防护设计效果。能够测试多种半导体工艺尺寸多种类型的器件的单粒子效应,包括体硅器件、GaAs, SiC, SiN等多种新型材料的器件,

 

4.       设备的技术特点

 

4.1    试验机时充裕

脉冲激光试验是单粒子效应测试的重要手段,试验机时充裕,方便设计师在桌面灵活细致测试器件和电路的单粒子效应特性。能够近距离的看到器件的单粒子效应特性,并记录试验现象。

 

4.2    定性摸底评估器件的单粒子效应敏感度

可以定性评估摸底器件的单粒子效应敏感度。能够测试多种半导体工艺尺寸多种类型的器件的单粒子效应,包括体硅器件、GaAs, SiC, SiN等多种新型材料的器件,给出的试验结果可靠。

 

4.3    能够试验验证防护设计效果

可以便捷快速的定量测试器件和电路系统的单粒子闩锁、单粒子翻转敏感度,并评估验证防护设计效果。便捷的激光试验为器件和电路系统的合理、安全、低成本使用低等级器件提供了重要试验支撑。

5.       设备的技术参数

  

参数

技术指标

激光波长

1.064μm

激光脉冲宽度

35fs

聚焦后光斑直径

0.5~5μm

脉冲激光重复频率

5KHz

最小扫描步距

0.1μm

等效LET值范围

0.5~200MeV•cm2/mg

 

6.       设备的技术优势

脉冲激光单粒子效应测试系统,将激光光斑聚焦为微米量级后,利用高精度的三维移动台,能够高精度(1μm,甚至是亚微米0.1μm)的定位到器件单粒子效应敏感部位。试验环境无需真空,在桌面开放环境中即可开展,能够方便的让器件设计师和电路抗单粒子效应防护系统设计师实时细致的分析抗单粒子防护手段。可以定性评估摸底多种工艺尺寸器件的单粒子效应敏感度。

 

 

7.       设备的应用行业

主要应用于半导体器件及电路系统的快速单粒子效应敏感度评估以及器件抗单粒子效应加固设计手段有效性验证领域。