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扫描电子显微镜
仪器名称 扫描电子显微镜 仪器型号 Sigma 300
仪器编号 21118510T0015 仪器来源 保障条件建设项目
生产厂商 卡尔蔡司(上海)管理有限公司 启用日期 2020.12
仪器类别 航天 仪器原值 280.1 万元
所在部门单位 可靠性与环境试验中心
仪器负责人 翁正 联系电话 13521043714
地址 怀柔园区4号楼D0611 邮编 100190
E-mail wengzheng@udaipurlightfestival.com
主要技术指标 1) 电子束分辨率:30kV 时 1.0 nm,1kV 时 3.0 nm;
2) 背散射电子分辨率:3.0nm@30kV;
3) 加速电压:0.02kV-30KV;
4) 探测器:二次电子探测器、极靴内二次电子探测器、背散射电子探测器、样品室红外CCD相机;
5) 样品台行程X≥125mm,Y≥125mm,Z≥50mm,倾斜角度≥-10~+90°,R=360°连续旋转;
包含主要附件 1) 能谱仪
2) 循环水机
3) 真空泵
4) 压缩机
5) UPS
仪器主要功能 扫描电子显微镜作为一种有效的显微结构分析工具,可以对各种材料进行多种形式的表面的观察与分析。主要可用于金属、陶瓷、高分子、半导体、地矿等领域的材料的微观形貌观察、相组织和晶体结构的分析、微区化学成分检测等,可对半导体器件的失效分析、表面形貌的观察及信息采集。
仪器服务领域 空间科学卫星系列及有效载荷研制测试
计量认证资质 实验室认可
仪器现状 完好
收费标准 所内收费: 446.4 元/小时
所外收费: 558 元/小时
仪器图片