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活性气体校准测试系统
仪器名称 活性气体校准测试系统 仪器型号 非标
仪器编号 04-110500-10179 仪器来源 研制
生产厂商 启用日期 2004年
仪器类别 C类 仪器原值 1367436.71
所在部门单位 空间环境探测研究室
仪器负责人 王玉洁 联系电话 010-62582640
地址 怀柔4号楼D101 邮编 101400
E-mail 609045906@qq.com
主要技术指标 主泵口:1×10-8Pa
校准室:5×10-8Pa
注气室:5×10-6Pa
 压力校准范围
1.3×10-2Pa~5×10-7Pa
 总不确定度:
1.3×10-2Pa ~1.3×10-4Pa: ≤5%
10-6Pa:≤8%
10-7Pa:≤10%
包含主要附件 活性气体校准测试系统、活性气体标准系统、抽真空装置、转子真空计、四极质谱仪、压力薄膜计、静电仪、超高真空计、质量流量控制器传感器、质量流量控制器显示器、分子泵、流量计、流量计、分子泵、冷却循环水机、复合真空计、复合真空计、交流净化电源
仪器主要功能 超高真空活性气体校准系统是在高真空和超高真空宽校准压力范围内,实施O2、N2、He、CO2、Ar等标准气样及混合气样的动态法校准装置,对大气探测器和各种真空测量设备(电离规、转子规、薄膜规、四极质谱计等)进行气体压力、灵敏度和图象系数校准,为各种组件在高真空或超高真空下测试创造条件。
仪器服务领域 航空航天;真空计量;真空检漏;真空获取;半导体;镀膜设备;真空测试;真空试验;真空模拟。
计量认证资质 实验室认可
仪器现状 完好
收费标准 163/小时
仪器图片